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一、射頻探針RF晶片探針將沿同軸電纜傳播的電磁能轉換為晶片上DUT及其接觸墊。轉換必須以最小的失真和能量損失進行。各種類型的RFDUT之間存在顯著差異:從分立元件到在非常寬的頻率范圍內工作的復雜IC。因此,RF探針技術必須支持各種頻率和間距以及各種配置。最后,探頭價格和探針頭壽命直接影響測試的DUT成本。當然,后者必須保持盡可能低的水平。通過對當今RF應用所面臨的眾多挑戰(zhàn)的深刻理解,MPI公司開發(fā)了TITAN™RF探針,這是專為這些復雜應用而優(yōu)化的產品系列,主要針...
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探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到最終器件制造的完成需經過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關鍵設備。經過檢測,探針臺將參...