一、射頻探針

RF晶片探針將沿同軸電纜傳播的電磁能轉(zhuǎn)換為晶片上DUT及其接觸墊。轉(zhuǎn)換必須以最小的失真和能量損失進行。各種類型的RF DUT之間存在顯著差異：從分立元件到在非常寬的頻率范圍內(nèi)工作的復(fù)雜IC。因此，RF探針技術(shù)必須支持各種頻率和間距以及各種配置。最后，探頭價格和探針頭壽命直接影響測試的DUT成本。當(dāng)然，后者必須保持盡可能低的水平。通過對當(dāng)今RF應(yīng)用所面臨的眾多挑戰(zhàn)的深刻理解，MPI公司開發(fā)了TITAN™RF探針，這是專為這些復(fù)雜應(yīng)用而優(yōu)化的產(chǎn)品系列，主要針對高級RF客戶的要求。TITAN™探針利用MPI高水準(zhǔn)的MEMS技術(shù)，在射頻測試領(lǐng)域提供新的技術(shù)和制造進步。MPI射頻探針指南

二、校準(zhǔn)基板

商用探針RF校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)采用共面設(shè)計，包括不同類型的校準(zhǔn)元件：開路，短路，負(fù)載和線路。因此，可以執(zhí)行各種類型的探針準(zhǔn)。MPI射頻探針指南

MPI AC系列校準(zhǔn)基板專門開發(fā)用于提供TITAN™探針的精確探針校準(zhǔn)。校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計與探頭配置和間距尺寸相匹配。標(biāo)準(zhǔn)等效阻抗的模型參數(shù)定義了校準(zhǔn)的準(zhǔn)確度，并以高精度提取。

三、射頻校準(zhǔn)軟件

在晶圓級射頻校準(zhǔn)和微波測量細(xì)節(jié)進行詳細(xì)的了解MPI的長期經(jīng)驗，隨時為QAlibria底部® - MPI的射頻校準(zhǔn)軟件。QAlibria ®旨在使RF系統(tǒng)校準(zhǔn)簡單的復(fù)雜和繁瑣的任務(wù)。其*的多點觸控和多語言圖形用戶界面以及原始的NIST多線TRL校準(zhǔn)功能*改變了晶圓級RF系統(tǒng)校準(zhǔn)。

四、射頻電纜和配件

RF測量的成功取決于整個系統(tǒng)的最佳配置。為了達(dá)到同類最佳的系統(tǒng)性能，MPI提供了出色的柔性電纜，波導(dǎo)部分以及各種適配器，可用于完整的RF探頭系統(tǒng)集成。經(jīng)過校準(zhǔn)的扭矩扳手，TITAN™探針平面化和清潔配件有助于長時間保持系統(tǒng)測量性能達(dá)到高水平。

五、產(chǎn)品特點：

1.MEMS技巧

MPI TITAN™探針精確制造，采用匹配的50ΩMEMS觸頭。憑借出色的探頭電氣特性（最小的插入損耗和串?dāng)_以及高回波損耗），它們可在最寬的頻率范圍內(nèi)確保的校準(zhǔn)和測量結(jié)果。

2.*的接觸結(jié)構(gòu)

與市場上的任何其他技巧不同，MPI TITAN™射頻探頭由于*的突出設(shè)計，可提供觸點的出色和實時可見性。有史以來第一次，即使對于沒有經(jīng)驗的操作員并且不使用探針對準(zhǔn)標(biāo)記，RF探針在校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)或DUT墊上的高度精確定位也成為可能。

3.減少接觸探針

MPI公司推出了TITAN-RC探針，擴展了RF TITAN探頭系列。新型探頭型號的觸頭寬度減少了33％，降至20μm。TITAN-RC探針*符合行業(yè)趨勢，即進一步降低RF器件和IC的焊盤尺寸，顯著降低了下一代商用RF和毫米波硅器件和IC的測試成本。它可以為Si器件獲得精確，可重復(fù)的測量結(jié)果，鋁焊盤金屬化尺寸小至30 x35μm。TITAN-RC探針采用GSG配置，探頭間距為50μm至150μm。

4.出色的使命壽命

TITAN™探針技術(shù)強大的功能之一是其均勻的磨損：在數(shù)十萬個探針循環(huán)后，探針的長度自然縮小。然而，由于*的探頭設(shè)計，電氣特性保持不變。因此，TITAN™探針的使用壽命優(yōu)于同類探針技術(shù)的使用壽命，并以真正實惠的價格脫穎而出。