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簡要描述:全自動晶圓挑片分選機 AP-1800特點:全自動系統(tǒng)、視覺定位系統(tǒng),直線電機驅(qū)動:分揀精度高,速度快;AOI檢查系統(tǒng),挑片過程中檢查芯片外觀,自動識別形貌;Bond Force Control支持對三五族,MEMS以及具備空氣橋結構芯片的挑選,支持MPW提供設備功能、治具定制及服務。
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一、全自動晶圓挑片分選機 AP-1800的功能:
(1)挑片應用:wafer to tray
(2)自動上下料,設備按照輸入的Mapping圖及AOI檢查判定產(chǎn)品,自動分揀芯片
二、全自動晶圓挑片分選機 AP-1800的特點:
(1)全自動系統(tǒng)、視覺定位系統(tǒng),直線電機驅(qū)動:分揀精度高,速度快
(2)AOI檢查系統(tǒng),挑片過程中檢查芯片外觀,自動識別形貌Bond Force Control
(3)支持對三五族,MEMS以及具備空氣橋結構芯片的挑選,支持MPW提供設備功能、治具定制及服務Options
(4)2-step sorting:雙分揀裝置,分步挑片
(5)Air Ejector:對應超薄產(chǎn)品,芯片厚度≥20μm
三、RCID識別功能:
項目 | 規(guī)格參數(shù) |
wafer尺寸 | 4、6、8inch Option:12inch |
芯片尺寸 | 0.5x0.5mm~20x20mm Option:0.3x0.3mm |
芯片厚度 | ≥100μm Option:≥20μm |
放置精度 | ≤ ±0.05mm/≤ ±0.5° Option:≤ ±0.025mm |
分揀速度 | ≤ 1.8s/chip at 2x2mm Die |
放置區(qū)容量 | 4、6、8inch Option:12inch |
設備尺寸 | 1800(W)x1000(D)x1650(H) mm |
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