毫米波探針臺(tái)| MPI 8英寸射頻高低溫手動(dòng)探針臺(tái) TS200-SE
MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)旨在確保在-60至+ 300°C的溫度范圍內(nèi)提供高級(jí)EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪聲,低泄漏測(cè)量功能。
具有ShielDEnvironment™的MPI TS200-SE探針系統(tǒng)可提供最大的EMI屏蔽,并允許進(jìn)行低噪聲的器件在片測(cè)量,從而可廣泛用于各種應(yīng)用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片級(jí)可靠性,故障分析,設(shè)計(jì)驗(yàn)證,和大功率。
TS200-SE模塊化的模塊化設(shè)計(jì)創(chuàng)造了*的升級(jí)途徑。所有TS200-SE探測(cè)附件,例如熱卡盤,顯微鏡和定位器,都可以升級(jí)或重新配置,以適應(yīng)涵蓋工具使用壽命的各種應(yīng)用需求,從而使擁有成本越來(lái)越低。 MPI 8英寸射頻高低溫手動(dòng)探針臺(tái)
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):
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MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的本地環(huán)境箱,可為超低噪聲,低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測(cè)試環(huán)境。
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MPI ShielDEnvironment™的一個(gè)*可配置的部分,它允許多達(dá) 4個(gè)端口的RF或多達(dá)8個(gè)端口的DC / Kelvin或這些配置的組合。MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于重新配置-很多小事情在簡(jiǎn)化日常操作方面發(fā)揮了重要作用。完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探針卡支架替換。
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TS200-SE與所有MPI手冊(cè)TS150,TS200和TS300探針系統(tǒng)共享平臺(tái)和探針壓板提升的概念 。MPI空氣軸承載物臺(tái)設(shè)計(jì)具有簡(jiǎn)單的單手冰球控制,為快速XY導(dǎo)航和快速晶圓裝載提供了極為方便的操作。 通過(guò)增加精確的25×25 mm XY-Theta千分尺移動(dòng),可以實(shí)現(xiàn)精確的定位功能。 請(qǐng)另外檢查*的Z卡盤控件。
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可重復(fù)的(1 µm)壓板提升設(shè)計(jì)具有三個(gè)離散的位置,用于接觸,分離(300 µm)和加載(3 mm)。 升降機(jī)包括一個(gè)安全鎖旋轉(zhuǎn)裝置,可防止平臺(tái)意外下降。這些功能提供功能,并且是MPI TS200-SE手動(dòng)探針系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。防止意外的探針或晶片損壞對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)至關(guān)重要,并提供直觀的控制,準(zhǔn)確的觸點(diǎn)定位,安全的設(shè)置以及簡(jiǎn)單的步進(jìn)和重復(fù)功能。附加的Probe Hover Control™具有懸停高度(50、100或150 µm),可輕松方便地將探頭與焊盤對(duì)齊。
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TS200-SE除空氣軸承XY工作臺(tái)外還包括– 5 mm Z吸盤調(diào)整(μm分辨率),可實(shí)現(xiàn)精確,精確的接觸/超程控制或探針卡跌落校正。1毫米刻度指示器為操作員提供了簡(jiǎn)便的反饋。另外20毫米氣動(dòng)舉升機(jī)提供了簡(jiǎn)便的大陸式裝卸程序。
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TS200-SE可提供各種 卡盤選件, 以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求:環(huán)境卡盤:同軸,三軸或射頻,帶有兩個(gè)由陶瓷材料制成的輔助卡盤,用于精確的射頻校準(zhǔn)-60°C至300°C的各種ERS AirCool卡盤。
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晶圓裝載門可以在15°C以下的任何溫度下簡(jiǎn)單鎖定–此*功能使TS200-SE成為市場(chǎng)上安全的手動(dòng)探針臺(tái)。此外,可以通過(guò)使用*集成的觸摸屏顯示器來(lái)操作熱卡盤,該觸摸屏顯示器放置在操作員面前的便利位置,以實(shí)現(xiàn)快速,操作和即時(shí)的反饋。
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這些卡盤采用ERSAC3冷卻技術(shù)及其空氣管理系統(tǒng),可直接從“已用”空氣中清除MPI ShielDEnvironment™,與市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)相比,可減少多達(dá)30%至50%的干燥空氣消耗。
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MPI光學(xué)器件可以選擇單管MPI SuperZoom™SZ10,具有高達(dá)12倍光學(xué)變焦和超過(guò)42毫米工作距離的MegaZoom™MZ12或EeyZoom™EZ10 –具有人體工程學(xué)的20倍目鏡,90毫米目鏡的10倍光學(xué)變焦光學(xué)元件。工作距離和低至2 µm的光學(xué)分辨能力。