高壓探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一,也是各大實驗室以及芯片設(shè)計、封裝測試的熟客。其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。設(shè)備具備各項優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。
按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。
探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機(jī)、探針臺和分選機(jī)。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機(jī),不同環(huán)節(jié)中測試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺配合使用。
除探針臺外,晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī),測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,通過探針臺和測試機(jī)的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。
高壓探針臺的使用方式:
1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
4、待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針前進(jìn)少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
5、確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。