半導(dǎo)體測試設(shè)備是一種用于電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的電子測量儀器，半導(dǎo)體制造是人類迄今為止掌握的工業(yè)技術(shù)難度Z高的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，是先進(jìn)制造領(lǐng)域上的一顆鉆石。隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展，芯片線寬尺寸不斷減小，制造工序逐漸復(fù)雜。目前國際上7nm制程已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段，需要近2000道工序，先進(jìn)的制程和復(fù)雜的工序?qū)⒊掷m(xù)提升對于先進(jìn)設(shè)備的需求。
集成電路檢測根據(jù)工藝所處的環(huán)節(jié)可以分為設(shè)計驗(yàn)證、前道量檢測和后道檢測。集成電路芯片的生產(chǎn)主要分為IC設(shè)計、IC前道制造和IC后道封裝測試三大環(huán)節(jié)，狹義上對集成電路檢測的認(rèn)識集中在封測環(huán)節(jié)，事實(shí)上集成電路檢測貫穿生產(chǎn)流程的始終，起始于IC設(shè)計，在IC制造中繼續(xù)，終止于對封裝后芯片的性能檢測，根據(jù)檢測工藝所處的環(huán)節(jié)，集成電路檢測被分為設(shè)計驗(yàn)證、前道量檢測和后道檢測。
在測試半導(dǎo)體測試設(shè)備中，測試機(jī)用于檢測芯片功能和性能，探針臺與分選機(jī)實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)功能模塊的連接。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試機(jī)和探針臺，成品測試環(huán)節(jié)需要使用測試機(jī)和分選機(jī)，具體測試流程如下：
?。?）晶圓檢測環(huán)節(jié)（CP）
晶圓檢測是指通過探針臺和測試機(jī)的配合使用，對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試，其測試過程為：探針臺將晶圓逐片自動傳送至測試位置，芯片的Pad點(diǎn)通過探針、專用連接線與測試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接，測試機(jī)對芯片施加輸入信號并采集輸出信號，判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計規(guī)范要求。測試結(jié)果通過通信接口傳送給探針臺，探針臺據(jù)此對芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記，形成晶圓的Map圖。
?。?）成品測試環(huán)節(jié)（FT）
成品測試是指通過分選機(jī)和測試機(jī)的配合使用，對封裝完成后的芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試，其測試過程為：分選機(jī)將被測芯片逐個自動傳送至測試工位，被測芯片的引腳通過測試工位上的基座、專用連接線與測試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接，測試機(jī)對芯片施加輸入信號并采集輸出信號，判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計規(guī)范要求。測試結(jié)果通過通信接口傳送給分選機(jī)，分選機(jī)據(jù)此對被測芯片進(jìn)行標(biāo)記、分選、收料或編帶。
