一、探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動
二、從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(超低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺
三、經濟手動型:
(1)根據客戶需求定制
(2)chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
(3)X-Y移動行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選)
(4)chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離
(5)顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
(6)顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)
(7)探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關
(8)可搭配Probecard測試
(9)適用領域:晶圓廠、研究所、高校等
四、LCD半自動探針臺:
(1)機械手臂取放片
(2)電動、鍵入坐標尋位置
(3)量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
五、LCD手動探針臺:
(1)白熾燈或者LED整面背光
(2)TFT元件特性、DriverIC量測分析
(3)機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300