MPI探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。
它主要的功能就是針對半導(dǎo)體元件進(jìn)行檢測,這里面說的半導(dǎo)體元件指的是集成電路,分立器件,光電器件,傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓,電流,電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測??梢赃m用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查檢測等;可以保證這些半導(dǎo)體元件的質(zhì)量,縮短研發(fā)時間和器件制作工藝的成本,所以,它的存在對于制造半導(dǎo)體的企業(yè)來說是非常重要的。
MPI探針臺使用方式:
1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。
4、待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時,可先用Y軸旋鈕將探針前進(jìn)少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。
5、確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。