一、探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
二、特性:
1、OTS-最近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。
2、QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。
三、縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。
四、半自動探針臺特點:
機(jī)械手臂取放片
電動、鍵入坐標(biāo)尋位置
量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手動探針臺
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、DriverIC量測分析
機(jī)臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300